Ultrapräzisionsmechatronik
Komponenten für mechatronisches Gesamtsystem
Für alle branchen
Ultrapräzise
Mechatronik
- Aktuatoren für die Halbleiterindustrie
- Polygonscanner für Medizin- und Umwelttechnik
- verstellbare Spiegel für Hochleistungslaser
hochpräzise Oberflächenqualität
Leistungen
Aktuator zur
Waferbewegung
Aktuator zur Waferbewegung
Im Zentrum stehen Kugler-Ultrapräzisionskomponenten, diese werden verbaut mit Magneten, Spulen, Temperaturfühlern, Encodern. Am Ende erhält man kompakte Linearaktuatoren auf Luftlagerbasis oder mit Festkörpergelenken.
Anwendung: Die Bewegung von Wafern im Waferstepper, die Positionierung des gesamten Wafertisches. Submikrometertoleranzen sind selbstverständlich, höchste Partikelfreiheit ist garantiert! Auch hier bieten wir unseren Service für unterschiedlichste Stückzahlen an – je nach Kundenbedarf.
Spindeln für
Polygonscanner
Spindeln für Polygonscanner
Sortieren, messen oder bearbeiten – unsere Polygonscanner HSPP werden, versehen mit dem richtigen Polygon, zum idealen Baustein in Anlagen unserer Kunden. Wie bei einem linearen Aktuator ist das Herzstück die Lagereinheit, versehen mit Motoren, Encodern und weiteren Sensoren.
Hier ist die Aktion eine Drehbewegung, und damit rotiert der montierte Scanspiegel. Viele Hundert solcher “Polygonscanner” setzen unsere Kunden jedes Jahr ein, um Lebensmittel zu sortieren oder um das Recyclen von Verpackungsbestandteilen zu überwachen!
Adaptive
Spiegel
Adaptive Spiegel
Der Laser trifft nicht richtig – unsere adaptiven Spiegel “helfen nach”: Überall, wo mit starken Multi-Kilowatt-Lasern gearbeitet wird, werden unsere Spiegel eingesetzt, um wärmebedingte Effekte zu kompensieren, um Strahlwege auszugleichen, um Bearbeitungsprozesse dynamisch zu optimieren.
Pneumatisch angesteuert, elektrisch geregelt. Auch hier gilt: Wir fertigen nicht nur unsere “eigenen” adaptiven Spiegel, wir fertigen, bearbeiten, montieren und qualifizieren gerade auch nach Kundenvorgabe!
Unsere